，据国外媒体报道，伴随着芯片制程工艺的提升，芯片代工商对极紫外光刻机的需求也明显增加，台积电和三星电子就已采购了大量的极紫外光刻机，存储芯片制造商SK海力士也已开始采用极紫外光刻机，在未来5年也将大力采购，美光科技也已计划在2024年开始安装极紫外光刻机。
芯片大厂大量采购极紫外光刻机，也就意味这一类光刻机的应用比例在未来几年将大幅提升，并逐渐占据主导地位。而除了台积电，三星电子等芯片代工商，存储芯片制造商也已采购或计划采购极紫外光刻机。年初就曾有外媒报道，SK海力士新建成的M16工厂，就已安装了极紫外光刻机。
而全球目前唯一能制造极紫外光刻机的阿斯麦公司预计，到2025年，全球所运行的光刻机中，极紫外光刻机所占的比例将超过60%。。
阿斯麦预计2025年极紫外光刻机所占的比例超过60%，是他们负责营销的一名高管，在有关极紫外光刻机生态系统的一次会议上透露的。
这名高管透露，他们预计极紫外光刻机所占的比例在未来5年将平稳增长，最终在全球半导体市场所应用的光刻机中，占据超过60%的份额。
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